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超净室或超净台的过滤方法介绍

    超净室或超净台所用的空气过滤方法都属于物理法,一般是体积过滤和表面过滤,它的集尘是通过直接碰掩、惯性、扩散和静电等作用完成的。
    根据灰尘的浓度可将过滤器分为前级、中级和末级三种。在前级,一般采用初效过滤器,中级采用中效过滤器,末级采用高效过滤器。前级过滤纯属体积过滤方式,因此,具有一定孔径的密集的网状结构物质都可以用作初效过滤材料,它主要是过滤较大颗粒灰尘,同时也有利于提高中效过滤器和高效过滤器的使用周期,下面主要介绍一下中效过滤器和高效过滤器。

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